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其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
84unit / kg
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其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
制造平板显示器用扩散、氧化、退火及其他热处理设备
制造平板显示器用化学气相沉积装置
制造平板显示器用物理气相沉积装置
其他制造平板显示器用薄膜沉积设备
制造平板显示器用分步重复光刻机
其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置
制造平板显示器用超声波清洗装置
其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置
其他制造平板显示器用的机器及装置
主要用于或专用于制作和修复掩膜版或投影掩膜版的装置
塑封机
引线键合装置
其他主要或专用于装配封装半导体器件和集成电路的设备
IC工厂专用的自动搬运机器人
其他用于升降、装卸、搬运集成电路等的设备
升降、搬运、装卸机器用零件或附件
引线键合装置用零件或附件
两用物项管制的带背板的溅射靶材组件
其他的带背板的溅射靶材组件
制造半导体器件或集成电路用光刻设备用零件及附件
其他品目84.86所列设备用零件及附件
船用推进器及桨叶
本章其他编号未列名的机器零件
输出功率≤37.5W玩具电动机
摄像机、摄录一体机用精密微型电机
其他机座最大尺寸在20mm至39mm微电机
摄像机、摄录一体机用精密微型电机
其他微电机
输出功率大于16KW的两用物项管制的无人机专用交直两用电动机