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第 84 章
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8486 类目下属海关编码
8486101000
利用温度变化处理单晶硅的机器及装置
8486102000
制造单晶柱或晶圆用的研磨设备
8486103000
制造单晶柱或晶圆用的切割设备
8486104000
制造单晶柱或晶圆用的化学机械抛光设备
8486109000
其他制造单晶柱或晶圆用的机器及装置
8486201000
氧化、扩散、退火及其他热处理设备
8486202100
制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置
8486202200
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置
8486202900
其他制造半导体器件或集成电路用薄膜沉积设备
8486203110
制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机
8486203120
制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机
8486203130
制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机
8486203190
其他制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机
8486203910
制造半导体器件或集成电路用的 I 线光刻机
8486203920
制造半导体器件或集成电路用的氟化氪( KrF )光刻机
8486203930
制造半导体器件或集成电路用的氟化氩( ArF )光刻机
8486203940
制造半导体器件或集成电路用的氟化氩浸没式( ArFi )光刻
8486203950
制造半导体器件或集成电路用的极紫外( EUV )光刻机
8486203990
未列名制造半导体器件或集成电路用的光刻机
8486204100
制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机
8486204900
其他制造半导体器件或集成电路用刻蚀及剥离设备
8486205000
制造半导体器件或集成电路用离子注入机
8486209000
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
8486301000
制造平板显示器用扩散、氧化、退火及其他热处理设备
8486302100
制造平板显示器用化学气相沉积装置
8486302200
制造平板显示器用物理气相沉积装置
8486302900
其他制造平板显示器用薄膜沉积设备
8486303100
制造平板显示器用分步重复光刻机
8486303900
其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置
8486304100
制造平板显示器用超声波清洗装置
8486304900
其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置
8486309000
其他制造平板显示器用的机器及装置
8486401000
主要用于或专用于制作和修复掩膜版或投影掩膜版的装置
8486402100
塑封机
8486402200
引线键合装置
8486402900
其他主要或专用于装配封装半导体器件和集成电路的设备
8486403100
IC工厂专用的自动搬运机器人
8486403900
其他用于升降、装卸、搬运集成电路等的设备
8486901000
升降、搬运、装卸机器用零件或附件
8486902000
引线键合装置用零件或附件
8486909110
两用物项管制的带背板的溅射靶材组件
8486909190
其他的带背板的溅射靶材组件
8486909910
制造半导体器件或集成电路用光刻设备用零件及附件
8486909990
其他品目84.86所列设备用零件及附件